珂瑪科技12英寸靜電卡盤進展報告

【珂瑪科技：12英寸靜電卡盤已完成驗證並實現小規模量產】11月12日訊，珂瑪科技在互動平臺表示，公司先進陶瓷主要應用於晶圓製造（包括存儲芯片）前道工藝設備，目前已進入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴散等多種設備。截至目前，公司12英寸靜電卡盤已完成驗證並實現小規模量產，12寸多區加熱靜電卡盤已完成產品開發，公司正積極推進其驗證進程。