華海清科全自動板級CMP裝備獲訂單的里程碑

【華海清科獲得國內首臺全自動板級CMP量產裝備訂單】6月9日訊，據華海清科消息，近日，華海清科自主研發的國內首臺510*515mm尺寸全自動板級CMP量產裝備Master-P510APEX成功獲得先進封裝領域重要客戶訂單，將按計劃進入客戶端產線投入量產應用。公司表示，該裝備將成爲國內首臺進入產線的國產全自動板級CMP裝備，爲我國先進封裝乃至半導體產業自主可控補齊關鍵一環。此次突破也是華海清科CMP裝備技術從晶圓級向板級延伸的重要里程碑。