中芯國際測試新型光刻機引發市場關注

【報道：中芯國際正在測試由上海初創公司宇量升製造的深紫外光刻機】9月17日訊， 9月17日早盤，光刻機概念股高開，盤中持續走強。個股方面，永新光學、波長光電雙雙漲停，國林科技、蘇大維格、茂萊光學、新萊應材、藍英裝備等漲幅領先。有報道稱，兩位知情人士透露，中芯國際正在測試由上海初創公司宇量升製造的深紫外光刻機。正在測試的這款機器採用的是浸沒式技術，類似於阿斯麥採用的技術。一位知情人士表示，儘管中芯國際的試驗初步結果令人鼓舞，但目前尚不清楚該機器是否以及何時能用於大規模芯片生產。（上證報）