晶盛機電碳化硅外延生長設備交付新進展

【晶盛機電12英寸單片式碳化硅外延生長設備順利交付】12月24日訊，近日，晶盛機電在碳化硅（SiC）核心裝備領域取得重大突破，12英寸單片式碳化硅外延生長設備順利交付全球頭部SiC外延晶片生產商瀚天天成。此次研發的12英寸單片式SiC外延設備可兼容8、12英寸SiC外延生產，其獨創的垂直分流進氣方案，實現了晶圓表面溫度高精度閉環控制、工藝氣體精確分區控制等技術，同時設備配備了自動化上/下料模塊及一鍵自動PM輔助功能，大幅提升顆粒控制能力和維護效率。