中瓷電子在半導體設備領域的最新進展與成就

【中瓷電子：靜電卡盤產品已通過國內頭部半導體設備公司上機驗證】5月9日訊，就公司在半導體設備用精密陶瓷領域2025年及2026年一季度有哪些突破的問題，中瓷電子接受機構調研時表示，公司持續加大精密陶瓷零部件領域的研發和投入力度，已開發了氧化鋁、氮化鋁精密陶瓷零部件產品，建立了精密陶瓷零部件製造工藝平臺，開發的陶瓷加熱盤產品核心技術指標已達到國際同類產品水平並通過用戶驗證，已批量應用於國產半導體設備中，靜電卡盤產品已經通過國內頭部半導體設備公司上機驗證，精密陶瓷零部件銷售收入同比有大幅增長。