北方華創推出新型12英寸氣體團簇離子束刻蝕設備

【北方華創發佈12英寸先進氣體團簇離子束刻蝕設備】6月2日訊，日前，北方華創正式發佈全新12英寸氣體團簇離子束（GCIB）刻蝕設備Acme Glaion130。設備突破三大核心技術瓶頸，覆蓋先進邏輯、存儲、封裝、硅光芯片及AR/VR應用場景。