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2026-06-02
北方華創推出新型12英寸氣體團簇離子束刻蝕設備
【北方華創發佈12英寸先進氣體團簇離子束刻蝕設備】6月2日訊,日前,北方華創正式發佈全新12英寸氣體團簇離子束(GCIB)刻蝕設備Acme Glaion130。設備突破三大核心技術瓶頸,覆蓋先進邏輯、存儲、封裝、硅光芯片及AR/VR應用場景。
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