新型光刻膠製備技術的突破與應用前景

【新型光刻膠製備方法開發成功】9月27日訊，華東理工大學副教授莊黎偉、美國約翰霍普金斯大學教授邁克爾.薩帕希斯領銜的國際合作團隊，提出了一種間歇性旋塗化學液相沉積製備非晶態沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜的方法，實現了薄膜沉積速率和厚度的可控，並進行了電子束光刻和超越極紫外光刻驗證。相關研究近日發表於《自然—化學工程》。據介紹，近年來，aZIF薄膜被用作先進光刻膠。實現aZIF薄膜的大面積、高精度可控制備，對相關領域的先進光刻工藝具有重要意義。