國產半導體光刻設備的重大進展

【芯上微裝首臺350nm步進光刻機正式發運】11月26日訊，2025年11月25日，上海芯上微裝科技股份有限公司（AMIES）再傳捷報：公司自主研發的首臺350nm步進光刻機（AST6200）正式完成出廠調試與驗收，啓程發往客戶現場，標誌著我國在高端半導體光刻設備領域再次實現關鍵突破！這不僅是一次產品的交付，更是國產半導體裝備向高端化、自主化邁進的重要里程碑。