先鋒精科光刻機零部件量產進展概述

【先鋒精科：光刻機零部件已實現部分產品量產交付】4月21日訊，在4月21日召開的2025年年度業績會上，先鋒精科董事長、總經理遊利回覆陶瓷加熱器、光刻機部件研發進展時介紹，公司陶瓷加熱器研發按計劃有序開展，光刻機零部件已實現部分產品量產交付。