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2026-07-31
【江蘇先導首臺12寸高端晶圓級光學磁控濺射設備正式交付】7月
【江蘇先導首臺12寸高端晶圓級光學磁控濺射設備正式交付】7月31日訊,據先導科技集團,7月30日,江蘇先導微電子自主研發的首臺Star600-EOSS12寸高端精密光學磁控濺射量產設備,在江蘇徐州高新區生產基地完成設備組裝、聯調,成功通過自動化與工藝驗證,正式交付國內頭部晶圓廠,標誌著公司在高端晶圓級光學鍍膜裝備領域實現了從研發、製造到產業化交付的重要突破。
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