【馬斯克或採用FEL技術挑戰EUV光刻機】8月10日訊，Sp

【馬斯克或採用FEL技術挑戰EUV光刻機】8月10日訊，SpaceX(SPCX.O)近日宣佈將與特斯拉(TSLA.O)合作，初期投資168億美元，在美國得州與建Terafab芯片設施。有博客博主發佈消息稱，從Terafab發佈的消息來看，馬斯克似乎要採用“自由電子激光器”(Free Electron Laser, FEL)技術路線，以挑戰阿斯麥(ASML.O)的LPP EUV光源，顛覆傳統EUV晶片生產技術的壟斷。馬斯克其後的回應，似乎印證了這種說法，他貼上“FEL FTW”（FEL For The Win）字眼。從Terafab細長的廠房設計和馬斯克的回覆可以看出，Terafab很可能會採用FEL技術。儘管馬斯克要搞FEL只是一種猜想，但仍引起業界人士熱烈討論。FEL具備高功率、高相干、波長可調和，以及更高能效等優勢，理論上可以將光刻光源從13.5nm、推向6nm甚至更短波長。不過，龐大的加速器系統、成本及量產穩定性仍是產業化最大挑戰。（信報）