【中科儀：擬實施集成電路乾式真空泵擴產項目】10月20日訊，

【中科儀：擬實施集成電路乾式真空泵擴產項目】10月20日訊，中科儀公告，公司計劃在已有募投項目“乾式真空泵產業化建設項目”和“高端半導體設備擴產項目”基礎上，實施集成電路乾式真空泵擴產項目。項目資金來源爲自籌資金，項目擬投資42313.48萬元，其中中國科學院瀋陽科學儀器股份有限公司及上海分公司擬投資19144.70萬元，實施主體爲中國科學院瀋陽科學儀器股份有限公司；中科儀（南通）半導體設備有限責任公司擬投資23168.78萬元，實施主體爲中科儀（南通）半導體設備有限責任公司。