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2026-06-04
關於高數值孔徑EUV光刻設備的採購與應用探討
臺積電(TSM.N) 首席執行官：我們已購買高數值孔徑EUV光刻設備用於研發，但由於成本高，目前生產中不需要高數值孔徑EUV。
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